题目
78. 电子气体主要应用于集成电路制造的高纯、超高纯特种气体,,一般具有高毒性。()A. 对B. 错
78. 电子气体主要应用于集成电路制造的高纯、超高纯特种气体,,一般具有高毒性。()
A. 对
B. 错
题目解答
答案
A. 对
解析
本题考查电子气体的特性相关知识。解题思路是依据电子气体在集成电路制造中的实际应用特点以及其本身的性质来判断该说法是否正确。
电子气体是集成电路制造过程中不可或缺的高纯、超高纯特种气体,在芯片制造的多个环节,如刻蚀、沉积、掺杂等都有重要应用。同时,很多电子气体具有高毒性,例如砷烷、磷烷等,这些气体如果泄漏到环境中或者被人体吸入,会对人体健康和环境造成严重危害。所以“电子气体主要应用于集成电路制造的高纯、超高纯特种气体,一般具有高毒性”这一说法是正确的。